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Description of  Mikrosystemtechnik: Vom Transistor zum Biochip [German]

Was ist Mikrosystemtechnik? Welche Rolle spielt sie in Technik und Wirtschaft? Welche Produkte gibt es? Wie stellt man sie her? Mikrosysteme werden heute erfolgreich in vielen Anwendungsfeldern eingesetzt: von der Fahrzeugtechnik ber die Biomedizintechnik und Kommunikationstechnik bis zum Umweltschutz. Es sind kleine Produkte mit groer Wirkung: die einzelnen Komponenten knnen einige Mikrometer gro sein, die ganzen Systeme meist einige Millimeter. Der Autor beschreibt die technische Entwicklung der Mikrosystemtechnik und erlutert an Hand typischer Anwendungen ihre Bauweise, Funktion und Herstellung. Und er geht auf die zuknftigen Trends dieser Schlsseltechnologie ein.